診斷真空泵真空度的方法

真空泵真空度常（cháng）規故障（zhàng）排查法

造成真空度故障（zhàng）的原因（yīn）不是唯一的，而我（wǒ）們的檢測手段又（yòu）很單一，整個係統隻有一塊真空表，這塊表隻能反映係統（tǒng）的最終抽氣結果，卻不能反映在（zài）某一時間上各（gè）個單（dān）元的（de）過程量，為故障的查找帶來了許

多（duō）不便，也增加（jiā）了故障的排查時間。

目前，采用的故障排查方式基本為排除法，步驟如下:

1、確定真空度儀表的準確性;

2、確保係統切斷閥無泄露;

3、若故障為現象一（yī）的表（biǎo）現（xiàn）形（xíng）式，則需對整個係統進（jìn）行外泄露的檢查;

4、若故障為現象二（èr）的（de）表現形式，首先檢查（chá）蒸汽、水（shuǐ）等能源介質（zhì）的各項參數值是否（fǒu）有異常，如無異常，檢查各逆止閥（fá），如無異常，作係統（tǒng）性能實驗，確定哪一級泵（bèng）的性能有問題，檢（jiǎn）查該泵的噴嘴和蒸汽閥

門（mén）。