真空泵的機械選擇

發布日期：2017-06-23 作者：點擊：

⑴真空泵工作時產生的振動對工藝（yì）過程及環境（jìng）有無影響。若工藝過程不允許，應（yīng）選擇無振動的泵（bèng）或者采取防振（zhèn）動措施。

⑵了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆粒灰塵，有無腐蝕性等。選擇真空（kōng）泵（bèng）時，需要知道氣體（tǐ）成分，針對（duì）被抽氣體選（xuǎn）擇相應的泵。如果氣體中含有（yǒu）蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應該考慮（lǜ）在泵的進氣口管路上安裝輔助設備，如（rú）冷凝器、除塵器等。

⑶真（zhēn）空泵在其工（gōng）作壓強（qiáng）下，應能排走（zǒu）真空設備工（gōng）藝過程中產生的全部氣體量。

⑷正確地組合真空泵。由於（yú）真（zhēn）空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充（chōng）才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫（qīng）有很高的抽（chōu）速，但不能抽氦，而三極型濺射離子（zǐ）泵，（或（huò）二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者（zhě）組合起來，便會使（shǐ）真空裝置得到較好的真空度。另（lìng）外，有的真空泵不能在大氣（qì）壓下工作，需要（yào）預真空（kōng）；有的真空泵出口壓強低於大氣（qì）壓，需要前級泵，故都需要把泵組合（hé）起來使用。

⑸真空設備對油汙染的要求。若（ruò）設備嚴格要求無油時，應該（gāi）選各種無油泵，如：水（shuǐ）環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不（bú）嚴格，可以選擇有油泵，加（jiā）上一些防（fáng）油汙染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。

⑹正確地選擇真空泵（bèng）的工作點。每（měi）種泵都有一定的工作壓強範圍，如：2BV係列（liè）水（shuǐ）環真空泵（bèng）工作壓強（qiáng）範（fàn）圍760mmHg~25mmHg（絕壓），在這樣寬壓強範圍內，泵的抽速隨壓（yā）強而變化（huà）（詳細變化情況參照泵的性能曲線），其穩定的工作壓強範圍為（wéi）760~60mmHg。因而，泵的工作點應該（gāi）選在（zài）這個範圍之內較（jiào）為適宜（yí），而不能讓它在25~30mmHg下長期工（gōng）作。

⑺真空泵排出來的油蒸氣（qì）對環境（jìng）的影響如何。如果環境不允許有汙染，可以選無油真空泵，或者把（bǎ）油蒸（zhēng）氣排到室外。

⑻真空泵（bèng）的工作壓（yā）強應（yīng）該滿足真空設備的極（jí）限真空及工作壓強要求。如：某真空幹燥工藝要求10mmHg的工作真空度（dù），選用的真空泵的極（jí）限真空度至少（shǎo）要2mmHg，最好能（néng）達到1mmHg。通常選擇（zé）泵的極限真（zhēn）空度要高於真空設備工作真空度半個到一個數量級。

⑼真空泵的價格、運轉及維修費用。

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